纳米二氧化锡薄膜的AFM研究
李艳琼;黄玛莉;
摘要(Abstract)：
以SnCl4.5H2O作为反应前驱物,采用溶胶-凝胶法制备了纳米SnO2薄膜,对薄膜烧结的温度及时间等工艺进行了研究,得到了最佳的烧结条件,采用X射线衍射仪(XRD)及原子力显微镜(AFM)对薄膜进行了结构形貌表征。结果表明,当烧结温度为450℃时,纳米SnO2薄膜为金红石型结构,表面形貌最佳,平均颗粒约为39~45nm。
关键词(KeyWords)： SnO2薄膜;AFM;烧结
基金项目(Foundation): 广西壮族自治区教育厅立项项目(200707LX118)、贺州市科技局攻关科技项目(200807004Z)的阶段性研究成果之一
作者(Author): 李艳琼;黄玛莉;
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